防爆隔膜真空泵的結(jié)構(gòu)原理與應(yīng)用范圍
點擊次數(shù)：103 更新時間：2025-09-24
防爆隔膜真空泵是一種專為易燃易爆環(huán)境設(shè)計的真空設(shè)備，其核心結(jié)構(gòu)和工作原理如下：
一、結(jié)構(gòu)原理
1、隔膜機構(gòu)
采用高強度彈性隔膜(如聚四氟乙烯)將泵腔分隔為吸氣腔和壓縮腔，通過電機驅(qū)動的往復(fù)運動實現(xiàn)氣體抽排。隔膜運動時，吸氣腔容積擴大形成負壓吸入氣體，壓縮腔容積減小排出氣體，全程無需油潤滑，避免污染。
2、防爆設(shè)計
泵體采用不銹鋼等耐腐蝕材料，電氣系統(tǒng)配備防爆型電機和阻燃電纜，并嚴格接地以防止火花產(chǎn)生。通風(fēng)系統(tǒng)可控制可燃氣體濃度，避免達到爆炸極限。
二、應(yīng)用范圍
1、工業(yè)領(lǐng)域
適用于半導(dǎo)體、化工、制藥等行業(yè)的真空吸附、干燥及薄膜涂覆工藝，尤其適合處理易燃易爆氣體。
2、特殊環(huán)境
在防爆間等高風(fēng)險場所中，其無油、低噪音特性可滿足安全要求。
該設(shè)備因結(jié)構(gòu)簡單、體積小且安全性高，成為高危環(huán)境真空作業(yè)的常用選擇。
